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一种发光二极管的外延片及其制备方法技术
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文档序号:15693124
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本发明公开了一种发光二极管的外延片及其制备方法,属于半导体技术领域。所述外延片包括衬底、以及依次层叠在衬底上的低温缓冲层、高温缓冲层、N型GaN层、量子缓冲层、发光层、P型GaN层,发光层包括若干子层,子层包括量子阱层和层叠在量子阱层上的量...
该专利属于华灿光电(浙江)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过华灿光电(浙江)有限公司授权不得商用。
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