下载基于垂直沟道的MESFET器件及其制备方法的技术资料

文档序号:15693075

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本发明公开了一种基于垂直沟道的MESFET(金属‑半导体场效应晶体管)器件,其包括MES结构、源极及漏极,所述MES结构包括栅极以及至少一半导体沟道,所述半导体沟道的轴线基本垂直于一选定平面,所述栅极环绕半导体沟道设置,所述源极经半导体沟道...
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