下载一种薄膜晶体管中的多晶硅薄膜、薄膜晶体管及制作方法的技术资料

文档序号:15693071

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本申请实施例提供一种薄膜晶体管中的多晶硅薄膜、薄膜晶体管及制作方法,在通过金属诱导非晶硅晶化方法将非晶硅薄膜转换为多晶硅薄膜时,可以避免需单独制作金属隔离层,同时,也可以避免金属隔离层和金属层的去除工艺,降低将非晶硅薄膜转换为多晶硅薄膜的制...
该专利属于京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。