下载薄膜晶体管及制备方法的技术资料

文档序号:15693000

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本发明涉及一种薄膜晶体管的制备方法,包括如下步骤:在基板上形成有源层;在形成有有源层的基板上形成栅极绝缘层;对栅极绝缘层进行图形化,以形成垂直于基底的第一刻蚀槽及第二刻蚀槽;在栅极绝缘层上形成金属层,且金属层覆盖第一刻蚀槽及第二刻蚀槽;对金...
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