下载一种阵列基板及其制造方法的技术资料

文档序号:15692980

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本发明公开了一种阵列基板及其制造方法,属于半导体技术领域。该制造方法包括提供一衬底基板;在衬底基板上制作栅极金属层,栅极金属层包括间隔设置的栅线和公共电极信号线;在栅极金属层上形成栅极绝缘层、有源层、源漏极层、钝化层和保护图形;在钝化层和栅...
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