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三维玻璃电感结构和制作工艺制造技术
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文档序号:15692965
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本发明提供一种三维玻璃电感结构,包括一个基体,在所述基体的一个表面制作有金属布线层,并在基体的所述一个表面和金属布线层上覆盖一保护层;在保护层上设开口,露出金属布线层上的电感走线和输入输出走线,作为电感线圈节点;各电感线圈节点间隔分布;采用...
该专利属于无锡吉迈微电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过无锡吉迈微电子有限公司授权不得商用。
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