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本发明公开了一种显示装置、指纹识别单元以及薄膜晶体管及其制造方法,所述方法包括:在基板上先后沉积金属层和作为保护层的铟锌氧化层;对所述金属层和铟锌氧化层进行刻蚀形成光敏器件的第一、二电极;在所述第一电极之上形成所述光敏器件的光电半导体。本发...该专利属于京东方科技集团股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过京东方科技集团股份有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种显示装置、指纹识别单元以及薄膜晶体管及其制造方法,所述方法包括:在基板上先后沉积金属层和作为保护层的铟锌氧化层;对所述金属层和铟锌氧化层进行刻蚀形成光敏器件的第一、二电极;在所述第一电极之上形成所述光敏器件的光电半导体。本发...