下载一种新型批量插卸硅片装置的技术资料

文档序号:15692907

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本发明涉及硅片吸笔领域,具体是一种新型批量插卸硅片装置。该新型批量插卸硅片装置,包括手握持面板。本发明是通过底板、镂空盒、第一公共气盒、第二公共气盒和手握持面板组合安装,通过此种安装方式,为了便于两组错位,能直接从花篮中取出,装置的底部安装...
该专利属于刘丽琴所有,仅供学习研究参考,未经过刘丽琴授权不得商用。

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