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本发明提供一种EFEM中的晶圆搬运部及装载端口部的控制方法，其具有：将容器固定于所述装载端口部的载置台的工序；在关闭了主开口的状态下，在载置于所述载置台上的所述容器的底面上所形成的多个底孔连接所述装载端口部的底部嘴，经由所述底部嘴向所述容器...
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