下载垂直取晶、固晶机构及其采用它的垂直固晶机的技术资料

文档序号:15692900

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本发明公开了垂直取晶、固晶机构,包括晶圆台,其特征在于,还包括:第一驱动装置,所述第一驱动装置用于驱动下述焊头组件相对于所述晶圆台做垂直圆周旋转;焊头组件,所述焊头组件包括至少一个焊头,所述焊头用于取晶及固晶,所述焊头组件的旋转轴线与所述晶...
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