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本发明公开了一种硅片片盒内金属含量的测试方法，包括以下步骤：(1)用干净的PFA瓶取100mL溶剂；用ICP-MS测试溶剂中的金属含量；(2)将PFA瓶中的溶剂倒入到待测片盒中，晃动片盒，使溶剂在片盒内流动，直到覆盖片盒所有内壁；(3)将片...
该专利属于有研半导体材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过有研半导体材料有限公司授权不得商用。

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