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本发明实施例提供一种薄膜晶体管及其制备方法、阵列基板，涉及显示技术领域，可以在形成源极和漏极的过程中，避免刻蚀液对氧化物有源层的表面造成损伤，进而影响薄膜晶体管的特性和信赖稳定性。一种薄膜晶体管的制备方法，包括：在衬底上形成氧化物有源层、源...
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