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本发明涉及一种薄膜晶体管及其制备方法，所述制备方法，包括：形成有源层；在所述有源层上形成栅极绝缘层；在所述栅极绝缘层上形成栅极；在所述栅极上形成层间绝缘层以覆盖所述栅极和所述有源层，使得所述层间绝缘层与所述有源层之间的界面具有施主类缺陷态；...
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