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一种离子源装置、产生离子脉冲的方法、应用和质谱仪制造方法及图纸
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下载一种离子源装置、产生离子脉冲的方法、应用和质谱仪的技术资料
文档序号:15692833
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本发明提供一种离子源装置、产生离子脉冲的方法,以及在材料分析、材料沉积和/或表面处理中的应用和质谱仪。该装置包括摩擦纳米发电机和离子源,其中,所述摩擦纳米发电机为所述离子源提供电源。利用摩擦纳米发电机高的输出电压能够产生单极性的或者正负交替...
该专利属于北京纳米能源与系统研究所所有,仅供学习研究参考,未经过北京纳米能源与系统研究所授权不得商用。
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