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本发明提供曝光装置用曝光头及曝光装置用投影光学系统，其能够在保持图案像的清晰度的同时，提高吞吐量。在曝光装置中，具备分别由分割镜和引导镜构成的平行平面的组即6个反射镜对的图像分割光学系统(30)将来自DMD(22)的图案像按照DMD(22)...
该专利属于株式会社ORC制作所所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社ORC制作所授权不得商用。

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