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本发明一种光刻机智能控制系统，光刻机智能控制系统由平板工控机、数据采集卡、运动控制板卡等部分构成。所述的平板工控机(主控板卡)的主控芯片采用三星的S3C2440芯片作为微处理器，为主控芯片配置了64M的SDRAM，配置256M的NandFl...
该专利属于田佳聪所有，仅供学习研究参考，未经过田佳聪授权不得商用。

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