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本发明公开了一种高速高精台式平面近场扫描架，包括光学平台、二维扫描平面机构、测试探头、伺服控制驱动一体化机箱；二维扫描平面机构为十字支撑结构，包括水平横梁和垂向立柱，垂向立柱还包括一个探头安装平面，用于安装所述测试探头；二维扫描平面机构和测...
该专利属于中国电子科技集团公司第十四研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国电子科技集团公司第十四研究所授权不得商用。

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