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基于光瞳调制的共轴干涉表面等离子体显微方法及系统技术方案
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下载基于光瞳调制的共轴干涉表面等离子体显微方法及系统的技术资料
文档序号:15689006
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本发明公开了一种基于光瞳调制的共轴干涉表面等离子体显微方法及系统,包括沿光路依次布置的:线性偏振照明相干光源、扩束投影装置、空间光调制器、样品夹持与微纳移动平台、高数值孔径显微物镜、成像透镜组、共聚焦光阑与图像传感器组成的成像光路。在样品离...
该专利属于北京航空航天大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京航空航天大学授权不得商用。
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