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本实用新型公开了一种用于低压扩散的密封装置，包括石英管1、石英炉门5及密封圈3；所述的石英管管口位置外层设有一圈隔热材料层（2）；所述的石英炉门（5）由两部分构成，即与石英管（1）管径相匹配的内圆柱（4），以及炉盖（6）；所述的炉门与石英管...
该专利属于浙江鸿禧能源股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江鸿禧能源股份有限公司授权不得商用。

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