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本实用新型提供了一种破片侦测装置，所述破片侦测装置包括：吸附装置、转动装置及传感器；其中，所述吸附装置吸附晶圆；所述转动装置带动所述吸附装置和/或所述传感器运动，使得所述吸附装置和所述传感器之间产生相对转动；所述传感器检测所述吸附装置吸附的...该专利属于中芯国际集成电路制造（天津）有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（天津）有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司授权不得商用。