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一种用于晶圆多点测试的探针卡,涉及半导体测试技术领域,包括PCB板,PCB板底层安置有探针基座,探针基座设有多个探针,每个探针均包括导电底板和用于接触晶圆的导电立板,所述导电底板一部分插入探针基座,一部分外露于所述探针基座,所述导电立板竖立...该专利属于广东利扬芯片测试股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过广东利扬芯片测试股份有限公司授权不得商用。
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一种用于晶圆多点测试的探针卡,涉及半导体测试技术领域,包括PCB板,PCB板底层安置有探针基座,探针基座设有多个探针,每个探针均包括导电底板和用于接触晶圆的导电立板,所述导电底板一部分插入探针基座,一部分外露于所述探针基座,所述导电立板竖立...