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用于48对棒多晶硅还原炉的喷嘴制造技术
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下载用于48对棒多晶硅还原炉的喷嘴的技术资料
文档序号:15678011
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本发明提供了一种用于48对棒多晶硅还原炉的喷嘴,属于多晶硅生产领域。喷嘴主要包括芯体,芯体包括第一内管和第一外管,第一外管套设于第一内管上,第一内管包括主通道,并且主通道的出气孔的通流面积比进气口的小。第一外管与第一内管之间的间隙形成辅通道...
该专利属于亚洲硅业(青海)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过亚洲硅业(青海)有限公司授权不得商用。
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