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本实用新型提出一种单晶炉底部加热器，通过采用横截面相等的筋条作为底部加热器的基本组成结构单元，并对底部加热器的形状和结构进行优化设计，从而达到发热均匀的目的。本实用新型技术方案保证了整个单晶炉内热场的底部温度均衡，提高了晶体生长的质量。...
该专利属于上海东洋炭素有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海东洋炭素有限公司授权不得商用。

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