下载铸造多晶硅的热场控制装置的技术资料

文档序号:15673592

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本实用新型涉及硅生产技术领域。一种铸造多晶硅的热场控制装置,包括炉体,所述炉体的顶部和侧壁都设有加热机构,所述炉体内设有坩埚,所述炉体依次设有加热区、梯度区和冷却区,其特征在于,还包括驱动坩埚升降的坩埚升降机构,所述坩埚的底壁内表面设有黑色...
该专利属于浙江绿谷光伏科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过浙江绿谷光伏科技有限公司授权不得商用。

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