下载一种多晶炉真空泵故障跨接挽救装置的技术资料

文档序号:15673590

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本实用新型公开了一种多晶炉真空泵故障跨接挽救装置,包括第一多晶炉、与第一多晶炉相邻的第二多晶炉;第一多晶炉的排气管与第一真空泵的进气管连接;第二多晶炉的排气管与第二真空泵的进气管,以及备用气管的一端通过三通接头连接;第一多晶炉的排气管上设有...
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