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本实用新型提供一种管式PECVD设备进料检测装置，包括进料槽，所述进料槽的左侧设置有进料管，且进料槽的底部设置有入料口，所述入料口内壁的一侧设置有红外发射管，且入料口内壁的另一侧设置有光敏信号接收器，所述进料槽的上方设置有钢化玻璃保护罩，所...
该专利属于江苏晶鼎电子材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏晶鼎电子材料有限公司授权不得商用。

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