下载掩膜支撑套件的技术资料

文档序号:15673499

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一种掩膜支撑套件,包括:框架及支撑组件。框架具有中空结构,框架开设有开口。支撑组件包括多个支撑片,每一支撑片的两个端部分别焊接于框架上,且相邻两个支撑片的侧边边缘相互接触,各支撑片拼接并用于封闭开口,每一支撑片均开设有避位孔,各避位孔分别与...
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