温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。
本发明公开了一种自动擦拭机构及其分光设备，包括固定架，滑动联接于固定架的擦拭组件；所述擦拭组件设有用于擦拭待清洁板的擦拭块；所述擦拭块设有直接与待清洁板接触的刮片；所述刮片与待清洁板运动方向成20°—90°倾斜角。本发明的透明转盘通过设于下...该专利属于深圳市华腾半导体设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市华腾半导体设备有限公司授权不得商用。
温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。
本发明公开了一种自动擦拭机构及其分光设备，包括固定架，滑动联接于固定架的擦拭组件；所述擦拭组件设有用于擦拭待清洁板的擦拭块；所述擦拭块设有直接与待清洁板接触的刮片；所述刮片与待清洁板运动方向成20°—90°倾斜角。本发明的透明转盘通过设于下...