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本发明公开了一种收发性能平衡的微机电超声换能器面阵探头，包括硅衬底（1），所述硅衬底（1）的上表面为氧化层（2），所述氧化层（2）的上表面开设有若干空腔（3），所述氧化层（2）的上表面键合振动薄膜（4），所述振动薄膜（4）的上表面设隔离层（...
该专利属于中北大学所有，仅供学习研究参考，未经过中北大学授权不得商用。

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