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一种气浮式夹头夹具制造技术
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下载一种气浮式夹头夹具的技术资料
文档序号:15667022
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本实用新型涉及电子元件生产所用夹具技术领域,尤其公开了一种气浮式夹头夹具,包括夹头装置、浮动装置,所述浮动装置包含用于固定夹头装置的浮动件、腔体件、安装板、顶盖及密封件,所述腔体件设置有球状槽、环状槽、腔体导气通道、进气通道和排气通道,所述...
该专利属于东莞市耀野自动化有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过东莞市耀野自动化有限公司授权不得商用。
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