下载一种气浮式夹头夹具的技术资料

文档序号:15667022

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本实用新型涉及电子元件生产所用夹具技术领域,尤其公开了一种气浮式夹头夹具,包括夹头装置、浮动装置,所述浮动装置包含用于固定夹头装置的浮动件、腔体件、安装板、顶盖及密封件,所述腔体件设置有球状槽、环状槽、腔体导气通道、进气通道和排气通道,所述...
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