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本申请公开了一种冷却装置，包括：架设于工件上方的支架；固定于所述支架上的用于储存液氮的液氮储槽；设置于所述液氮储槽的出口处的喷嘴，所述喷嘴用于向所述工件上喷淋液氮；设置于所述液氮储槽和所述喷嘴之间的阀门。该冷却装置采用液氮作为冷却介质，冷却...
该专利属于中国科学院长春应用化学研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院长春应用化学研究所授权不得商用。

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