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本实用新型公开一种孔洞及膜厚自动化检测装置。孔洞及膜厚自动化检测装置检测表面具有多个孔洞的基材。孔洞及膜厚自动化检测装置包括光学量测单元、处理单元及电性连接于处理单元的回馈单元。光学量测单元用以撷取在基材表面的待测区的待测区影像以及从待测区...
该专利属于广运机械工程股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广运机械工程股份有限公司授权不得商用。

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