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本发明公开了一种3D结构的薄膜锂电池，包括硅基体，在硅基体表面两侧分别为正极集流体和负极集流体，在硅基体上加工很多规则排列的微孔，在微孔内沉积Li+扩散阻隔层TiN，然后以硅为负极，为固态电解质，LiCoO...
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