下载一种GaN基发光二极管外延片的制造方法的技术资料

文档序号:15644411

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本发明公开了一种GaN基发光二极管外延片的制造方法,属于半导体技术领域。包括:在衬底上依次形成缓冲层、未掺杂GaN层、N型GaN层、N型阻挡层、应力释放层、量子阱、P型电子阻挡层、P型GaN层;N型阻挡层由高温AlGaN层和低温GaN层组成...
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