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本发明涉及一种用于借助于激光辐射去蚀脆硬材料的方法，包括下列步骤：将激光辐射入射到脆硬材料上以形成非圆形光斑，其中从激光与脆硬材料的作用面的表面法向上来看，非圆形光斑的长度方向与激光辐射去蚀脆硬材料的去蚀方向重合；以及沿着去蚀方向去蚀脆硬材...
该专利属于彭翔;彭娟所有，仅供学习研究参考，未经过彭翔;彭娟授权不得商用。

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