下载鳍状结构上的横向扩散晶体管的技术资料

文档序号:15644157

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本发明公开一种鳍状结构上的横向扩散晶体管,横向扩散晶体管包含一具有阶梯轮廓的栅极介电层,栅极介电层的厚度由横向扩散晶体管的源极向漏极的方向增厚,此外横向扩散晶体管的制作工艺可以和低压晶体管以及其它高压晶体管的制作工艺相容。...
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