下载低关断损耗的SOI‑LIGBT器件结构的技术资料

文档序号:15644084

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本发明提供一种低关断损耗的SOI‑LIGBT器件结构,包括从下至上依次设置的P型衬底、埋氧层二氧化硅、N型漂移区、P型阱区、N‑buffer层、氧化层;P型阱区内部上方设有N型源端以及P型接触区;N‑buffer层内部上方设有N型阳极区;在...
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