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XYθ三自由度大行程高频响精密定位平台，包括刚性基底，刚性基底内侧分别和四个双层菱形位移放大机构的外侧固定端连接，四个双层菱形位移放大机构的内侧第一刚性输出端与柔性支链机构连接，柔性支链机构的第二刚性输出端与动平台连接，动平台中心通过螺纹孔...
该专利属于西安交通大学所有，仅供学习研究参考，未经过西安交通大学授权不得商用。

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