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本发明的固支梁直接加热在线式已知频率微波相位检测器由六端口固支梁耦合器，微波相位检测器，直接加热式微波功率传感器；六端口固支梁耦合器由共面波导，介质层，空气层和固支梁构成；共面波导制作在SiO...
该专利属于东南大学所有，仅供学习研究参考，未经过东南大学授权不得商用。

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