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本发明公开了一种制作扫描隧道显微镜探针设备的探针棒减振装置及方法，它包括下调节支架（2），下调节支架（2）连接中间调节托盘（15），中间调节托盘（15）上固定有减振筒（16）,探针棒（7）穿过减振筒（16）且探针棒（7）与减振筒（16）不接...
该专利属于贵州大学所有，仅供学习研究参考，未经过贵州大学授权不得商用。

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