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一种气体传感器及其制备方法技术
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下载一种气体传感器及其制备方法的技术资料
文档序号:15636276
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本发明公开一种气体传感器及其制备方法,具有至少一个气体敏感层,气体敏感层包括气体敏感材料薄膜和气体敏感电极,气体敏感材料薄膜的敏感材料是掺有金属钴元素的黑磷材料,厚度为1~10个原子层厚;其中,黑磷材料是由红磷及锡的碘化物制备,钴原子在掺杂...
该专利属于东南大学所有,仅供学习研究参考,未经过东南大学授权不得商用。
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