下载光学自由曲面的像散补偿型干涉检测装置与检测方法的技术资料

文档序号:15634965

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本发明公开了一种光学自由曲面的像散补偿型干涉检测装置与检测方法,所述装置包括He‑He激光器、扩束系统、1/2波片、偏振分光棱镜、第一~二1/4波片、标准平面反射镜、移相器、第一汇聚透镜、待测自由曲面、第二汇聚透镜、平面反射镜、偏振片、旋转...
该专利属于南京理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过南京理工大学授权不得商用。

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