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本发明公开了一种基于PSD的激光微位移检测装置，包括：激光器单元发射出的激光经衰减后照射在PSD传感器单元的光敏面上，PSD传感器单元输出的电流信号经PSD信号处理单元、数据采集单元进行采样、模数转换处理，并将处理后的数据发送到数据分析单元...
该专利属于中国科学院光电研究院所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院光电研究院授权不得商用。

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