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一种纳米金刚石表面硅烷真空热解沉积设备，包括：机械泵(1)、扩散泵(2)、四通阀(3)、真空管式炉(4)、石英管(5)、载物台(7)、硅烷进气口(8)、氩气进气口(9)、流量计(10)、复合真空计(11)、放气阀(12)。高真空状态下的纳米...
该专利属于中国矿业大学（北京）所有，仅供学习研究参考，未经过中国矿业大学（北京）授权不得商用。

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