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一种碳化硅MOS管制造技术
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下载一种碳化硅MOS管的技术资料
文档序号:15621766
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本实用新型涉及一种碳化硅MOS管,包括衬底、衬底外延层、源区和漏区,其特征在于,源区和漏区为6价N型碳化硅;衬底为6价N型碳化硅;衬底外延层生长在衬底上,且为6价P型碳化硅;碳化硅MOS管的栅极与衬底外延层的两端连接。该碳化硅MOS管具有如...
该专利属于重庆市嘉凌新科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过重庆市嘉凌新科技有限公司授权不得商用。
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