下载用于结构化衬底的方法的技术资料

文档序号:15621444

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本公开涉及用于结构化衬底的方法。根据各个实施例,处理衬底的方法可包括:在包括延伸到衬底中的至少一个外形特征的衬底之上设置粘性材料,以在衬底之上形成保护层;在粘性材料与衬底的接触时段期间调整粘性材料的粘度,以稳定所设置的粘性材料的空间分布;使...
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