下载一种基于层流等离子系统的气动装置的技术资料

文档序号:15620439

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本实用新型公开了一种基于层流等离子系统的气动装置,属于等离子设备技术领域。包括发生器和设置在发生器内的气动装置,发生器连接气动装置,所述发生器包括冷却装置和进气装置,冷却装置在发生器上设置有进水口和出水口;进气装置在发生器上设置有进气口,其...
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