下载一种温度及磁场薄膜传感器及其数据采集分析系统的技术资料

文档序号:15613023

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本发明公开了一种基于温度及磁场薄膜传感器的数据采集分析系统,包括薄膜传感器和数据采集分析模块,所述薄膜传感器包括石英衬底,石英衬底上镀有锰氧化物薄膜,锰氧化物薄膜上镀有金属电极Ⅰ和Ⅱ,金属电极Ⅰ和Ⅱ通过焊盘与外界导线连接,锰氧化物薄膜上覆盖...
该专利属于福建师范大学所有,仅供学习研究参考,未经过福建师范大学授权不得商用。

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