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本发明一种痕量六氟化硫气体检测装置，由光声腔、激光器与其驱动控制电路、声压传感器与其驱动电路、透镜组、温度控制部分、电磁阀和空气泵、信号处理部分构成。所述的光声腔主要用于产生光声信号，光声腔的材料选用热传导系数较大的不锈钢，能使光声腔内部通...
该专利属于田荣侠所有，仅供学习研究参考，未经过田荣侠授权不得商用。

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