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一种光子晶体纳米流体传感器制造技术
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文档序号:15610987
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本实用新型属于光电器件领域,并公开了一种光子晶体纳米流体传感器,该传感器包括光子晶体结构和光学透明覆盖层,所述光子晶体结构包括玻璃基底、设于所述玻璃基底上的光栅层和沉积在所述光栅层上的材料层,所述光栅层具有光栅周期结构,所述光学透明覆盖层设...
该专利属于华中科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过华中科技大学授权不得商用。
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